ВОЗМОЖНОСТИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕНЗОДАТЧИКА ИЗ СИЛИКАТНОГО СТЕКЛА, ЛЕГИРОВАННОГО ДИОКСИДОМ РУТЕНИЯ

толстопленочный резистор, температурный коэффициент сопротивления (ТСR); калибровочный коэффициент (GF), легированное силикатное стекло, оксид металла RuO2.

Авторы

В этой статье было систематически исследовано влияние компонентов резисторной пасты и температуры обжига на температурный коэффициент сопротивления (TCR) толстопленочного резистора. Исследованы толстопленочные резисторы, изготовленные из концентраций RuO2 (от 10% до 30% по массе), прокаленных при различных температурах на подложке из Al2O3. Исследована взаимосвязь между сопротивлением резистора, TCR и масштабным коэффициентом (GF). Результаты показывают, что TCR также увеличивается с увеличением концентрации RuO2 и температуры обжига. Вблизи минимума (Tmin) кривой сопротивление-температура температура оказывает наименьшее влияние на значение сопротивления, и толстопленочный резистор можно считать нечувствительным к температуре в определенном диапазоне. Отношение TCR к GF и Tmin зависит от сопротивления слоя толстопленочных резисторов. Изменяя концентрацию проводящей фазы и температуру обжига, можно контролировать пленочное сопротивление толстопленочных резисторов и получать низкотемпературные тензорезисторы для различных температур окружающей среды.