FE-CO-NI ION IMPLANTATSIYASI NATIJASIDA KREMNIY SIRTIDA SILITSI FAZALARNING HOSIL BO‘LISHI
##submission.downloads##
Mazkur maqola Fe–Co–Ni ionlarining kremniyga implantatsiyasi jarayonida hosil bo‘ladigan silitsid fazalarning fizik-kimyoviy mexanizmlarini batafsil tahlil qilishga bag‘ishlangan. SRIM/TRIM modellaridan foydalanib ionlarning energiya yo‘qotish kanallari, PKA generatsiyasi, nuqsonlar zichligi va chuqurlik bo‘yicha profil taqsimoti aniqlangan. SIMNRA RBS multilayer modeli asosida qatlamlar qalinligi, interdiffuziya chegaralari, kinematic faktorlar hamda elementlarning qaytish koeffitsiyentlari keltirilgan. 2D va 3D termodinamik fazaviy diagrammalar Fe–Co–Ni uch komponentli tizimning Gibbs erkin energiyasi relyefini ifodalab, stabil fazalarning barqaror maydonlarini aniqlashga imkon beradi. FeSi₂ panjarasining 3D kristall modeli esa epitaksial o‘sish mexanizmini tushuntiradi. Kompleks modellashtirish natijasida yuqori sifatli silitsid fazalarning hosil bo‘lish jarayonlarini chuqur ilmiy asosda ko‘rsatib beruvchi yondashuv ishlab chiqildi.
1. Ziegler J.F. SRIM – The Stopping and Range of Ions in Matter, 2020.
2. Nastasi M., Mayer J.W., Wang Y. Ion-Solid Interactions: Fundamentals and Applications, Cambridge Univ. Press, 2019.
3. Mayer M. SIMNRA User’s Guide, 2021.
4. Lee K. Transition metal silicides for nanoelectronics. Journal of Applied Physics, 2023.
5. Choi P. Phase transformations in transition metal silicides. Acta Materialia, 2022.
Mulkiiyat (c) 2025 «O‘zMU XABARLARI»
Ushbu ish quyidagi litsenziya asosida ruxsatlangan Kreativ Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International litsenziyasi asosida bu ish ruxsatlangan..
.jpg)
.png)
