ПОЛУЧЕНИЕ УЛЬТРАТОНКИХ КОНТАКТОВ НА ПОВЕРХНОСТИ БИНАРНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Впервые с использованием метода низкоэнергетической ионной бомбардировки на поверхности CdS получены
ультратонкие омические контакты. Изучены профили распределения атомов контактирующего металла (никеля) по
глубине чистого CdS и CdS, бомбардированного ионами Ba + и Ar + . Показано, что ионная бомбардировка приводит к
уменьшению приконтактного (переходного) слоя в два и более раза и составляет ~ 100 – 120 Å. При этом удельное
сопротивление этого слоя не превышало 2 – 2,5 мкОм·см. Уменьшение толщины переходного слоя и объясняется
образованием при ионной бомбардировке на поверхности CdS тонкого (30 – 40 Å) металлического слоя.
1. Г.С. Хрипунов, В.Р. Копач, А.В. Мериуц, Р.В. Кириченко, Н.В. Дейнеко, ФТП, 45 (1) С.1564 (2011).
2. K.R. Murali, M. Matheline, R. John, Chalcogenide Lett, 6 (9) P.483 (2009).
3. A.A. Vashchenko, V.S. Lebedev, A.G. Vitukhnovskii, R.B. Vasiliev, I.G. Samatov, JETP Lett, 96, 113 (2012).
4. C. Dang, J. Lee, C. Breen, J.S. Steckel, S. Coe-Sullivan, A. Nurmikko, Nature Nanotechnology, 7, 335 (2012).
5. А.П. Беляев, В.П.Рубец, В.В.Антипов, ФТП. 39. 2. С.204-206. (2005).
6. Ш.А.Мирсагатов, И.Б. Сапаев, ФТП. 48 (10) С.1398-1404. (2014).
7. К.А.Свит, Д.Ю.Протасов, Л.Л.Свешникова, А.К.Шестаков, С.А.Тийс, К.С.Журавлев, ФТП, 48 (9) С.1237-1241
(2014).
8. Р.А.Редько, С.И.Будзуляк, Д.В.Корбутяк, А.П.Лоцько, Н.Д.Вахняк, Л.А.Демчина, С.М.Калитчук, Р.В.Конаеова,
В.В.Миленин, Ю.В. Быков, С.В.Егоров, А.Г.Еремеева, ФТП, 49 (7) С.916-919 (2015)
9. А.Г.Роках, М.И.Шишкин, В.С. Аткин, ФТП 52. (8) С.853-859 (2018).
10. Д.М.Седракян, П.Г.Петросян, Л.Н. Григорян, ЖТФ, 85 (5) С.94-99 (2015).
11. Б.Е.Умирзаков, Ж.Ш.Содикжанов, Д.А.Ташмухамедова, А.А.Абдувайитов, Э.А.Раббимов. Письмо в ЖТФ.
2021. Т.47. вып.12. с.3-5. Doi: 10.21883/PJTF.2021.12.51057.18632
12. Б.Е.Умирзаков, Д.А.Ташмухамедова, Э.А.Раббимов, Ж.Ш.Содикжанов, А.Н.Уроков, Поверхность.
Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 12, С.76-80 (2019).
13. A.A.Abduvayitov, Kh.Kh.Boltaev, G.A.Rozikov. Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron
Techniques, 2022, Vol. 16, No. 5, pp. 860–863. Doi: 10.1134/S102745102205024X
14. Д.А.Ташмухамедова, Б.Е.Умирзаков, М.А. Мирджалилова, Изв. АН. Сер. Физ. 2004. Т.68. № 3. С.424-426.
15. Boltaev Kh.Kh., Tashmukhamedova D.A., Umirzakov B.E. Journal of Surface Investigation 2014, 8(2). pp.326-331
16. Алиев А.А., Абдувайитов А.А., Рузибаева М.К. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные
исследования. №5 с.102-105 (2009)
17. Walden R.H.еt.al. The buried Channel Coupled Device.// Bell. Sist.Tech.J., - 1972. - V.51. - P.180-183.
18. Wittmer M. SiIicide contacts for shaIIow junction devices. //Thin SoIid FiIms. - 1983. - V.107. - Р.99-110.
Copyright (c) 2026 «ВЕСТНИК НУУз»
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция — Некоммерческое использование — На тех же условиях») 4.0 Всемирная.
.jpg)
2.png)
