BINAR YARIM O‘TKAZGICHLAR YUZASIDA ULTRA YUPQA KONTAKTLARNI OLISH
##submission.downloads##
Birinchi marta kichik energiyali ionlarni bombardimon qilish usuli yordamida CdS yuzasida ultra yupqa omik kontaktlar
olindi. Toza CdS va Ba + , Ar + ionlari bilan bombardimon qilingan CdS tarkibidagi metall (nikel) atomlarini chuqurlik
boʻyicha taqsimoti oʻrganildi. O’tish qatlamining (kontakt soxasi) qalinligi ion bombardimon qilinganda ikki va undan ko’p
marta kamaygani, ya’ni 100 - 120 Å ni tashkil qilishi ko’rsatildi. Shu bilan birga, bu qatlamning qarshiligi () 2–2,5
mkОm·sm dan oshmadi. O'tish qatlami qalinligi va ning kamayishi ion bombardimonida CdS yuzasida yupqa (30-40 Å)
metall qatlam hosil bo'lishi bilan izohlanadi.
1. Г.С. Хрипунов, В.Р. Копач, А.В. Мериуц, Р.В. Кириченко, Н.В. Дейнеко, ФТП, 45 (1) С.1564 (2011).
2. K.R. Murali, M. Matheline, R. John, Chalcogenide Lett, 6 (9) P.483 (2009).
3. A.A. Vashchenko, V.S. Lebedev, A.G. Vitukhnovskii, R.B. Vasiliev, I.G. Samatov, JETP Lett, 96, 113 (2012).
4. C. Dang, J. Lee, C. Breen, J.S. Steckel, S. Coe-Sullivan, A. Nurmikko, Nature Nanotechnology, 7, 335 (2012).
5. А.П. Беляев, В.П.Рубец, В.В.Антипов, ФТП. 39. 2. С.204-206. (2005).
6. Ш.А.Мирсагатов, И.Б. Сапаев, ФТП. 48 (10) С.1398-1404. (2014).
7. К.А.Свит, Д.Ю.Протасов, Л.Л.Свешникова, А.К.Шестаков, С.А.Тийс, К.С.Журавлев, ФТП, 48 (9) С.1237-1241
(2014).
8. Р.А.Редько, С.И.Будзуляк, Д.В.Корбутяк, А.П.Лоцько, Н.Д.Вахняк, Л.А.Демчина, С.М.Калитчук, Р.В.Конаеова,
В.В.Миленин, Ю.В. Быков, С.В.Егоров, А.Г.Еремеева, ФТП, 49 (7) С.916-919 (2015)
9. А.Г.Роках, М.И.Шишкин, В.С. Аткин, ФТП 52. (8) С.853-859 (2018).
10. Д.М.Седракян, П.Г.Петросян, Л.Н. Григорян, ЖТФ, 85 (5) С.94-99 (2015).
11. Б.Е.Умирзаков, Ж.Ш.Содикжанов, Д.А.Ташмухамедова, А.А.Абдувайитов, Э.А.Раббимов. Письмо в ЖТФ.
2021. Т.47. вып.12. с.3-5. Doi: 10.21883/PJTF.2021.12.51057.18632
12. Б.Е.Умирзаков, Д.А.Ташмухамедова, Э.А.Раббимов, Ж.Ш.Содикжанов, А.Н.Уроков, Поверхность.
Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 12, С.76-80 (2019).
13. A.A.Abduvayitov, Kh.Kh.Boltaev, G.A.Rozikov. Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron
Techniques, 2022, Vol. 16, No. 5, pp. 860–863. Doi: 10.1134/S102745102205024X
14. Д.А.Ташмухамедова, Б.Е.Умирзаков, М.А. Мирджалилова, Изв. АН. Сер. Физ. 2004. Т.68. № 3. С.424-426.
15. Boltaev Kh.Kh., Tashmukhamedova D.A., Umirzakov B.E. Journal of Surface Investigation 2014, 8(2). pp.326-331
16. Алиев А.А., Абдувайитов А.А., Рузибаева М.К. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные
исследования. №5 с.102-105 (2009)
17. Walden R.H.еt.al. The buried Channel Coupled Device.// Bell. Sist.Tech.J., - 1972. - V.51. - P.180-183.
18. Wittmer M. SiIicide contacts for shaIIow junction devices. //Thin SoIid FiIms. - 1983. - V.107. - Р.99-110.
Mulkiiyat (c) 2026 «O‘zMU XABARLARI»
Ushbu ish quyidagi litsenziya asosida ruxsatlangan Kreativ Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International litsenziyasi asosida bu ish ruxsatlangan..
.jpg)
.png)
