Tabiiy fanlar

ВЫРАЩИВАНИЕ И ХАРАКТЕРИСТИКА ТОНКОГО СЛОЯ ОКСИДА МЕДИ В КАЧЕСТВЕ СОЛНЕЧНОГО ЭЛЕМЕНТА МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТИ Si/ZnO

магнетронное распыление, гетероструктура, кристалличность-аморфизм, размер кристаллитов, солнечный элемент, оксид спирта.

Авторы

  • O‘tkir XOLIQOV Sherali XOJIYEV Termiz muhandislik texnologiyalari instituti assisenti, fizika-matematika fanlari nomzodi,Toshkent davlat tibbiyot univesiteti dotsenti, fizika-matematika fanlari doktori , Узбекистан
  • Isroil KOSIMOV Ilyos KHUDAYQULOV Bioorganik kimyo instituti yetakchi muhandisi, PhD, Ion plazmasi va lazer texnologiyalari instituti katta ilmiy xodimi, PhD , Узбекистан
  • Boburjon KAXRAMONOV Ion plazmasi va lazer texnologiyalari instituti katta ilmiy xodimi, PhD , Узбекистан

В данной работе тонкопленочные гетероструктуры на основе CuO и Cu₂O были синтезированы на поверхности подложки Si/ZnO методом магнетронного распыления. В исследовании изучалось влияние температуры и ионной очистки на поверхность подложки. Слои CuO и Cu₂O выращивались в трех различных условиях: без нагрева, с нагревом до 600°C и с очисткой ионами импульсного разряда. Кристаллографическую структуру, фазовое состояние, морфологию поверхности, элементный состав и спектроскопические свойства комбинационного рассеяния света полученных слоев анализировали с использованием соответствующих аналитических методов. Результаты показали, что высокотемпературный нагрев и ионная очистка приводят к образованию однородных, плотных и высококристаллических слоев. Полученные гетероструктуры CuO/Cu₂O рекомендуются в качестве перспективных материалов для создания солнечных элементов