##submission.outdatedVersion##
Tabiiy fanlar

MAGNETRON CHANGLATISH VA VAKUUM YOYI USULLARI BILAN OLINGAN QOPLAMALARNING MORFOLOGIK VA STRUKTURAVIY XUSUSIYATLARI

Titan nitrid, magnetronli changlatish, vakuum yoyi usuli, sirt bir xilligi, korroziyaga chidamlilik, sirt morfologiyasi, qoplama qalinligi, rentgen nurlari difraksiyasi (XRD), g’adir budirlik tahlili, nano o'lchamdagi qoplamalar, elektr o'tkazuvchanligi, gaz plazmasi, gaz, qoplama texnologiyalari, inertlik tozalash usullari, korroziyaga chidamli qoplamalar.

Mualliflar

  • Vladimir ARUSTAMOV Boburjon KAXRAMONOV Ion plazmasi va lazer texnologiyalari instituti katta ilmiy xodimi,f-m.f.n, Ion plazmasi va lazer texnologiyalari instituti katta ilmiy xodimi, PhD , Uzbekistan
  • Ilyos KHUDAYQULOV Ion plazmasi va lazer texnologiyalari instituti katta ilmiy xodimi, PhD , Uzbekistan

##submission.versions##

Mahsulot yuzalariga ishqalanish va korroziyaga chidamlilik xususiyatlarini berish zamonaviy sanoatning asosiy vazifalaridan biridir. Ushbu ishda magnetron changlatish va vakuum yoyi texnologiyasi bilan qoplangan titan nitrid (TiN) qoplamalarining xususiyatlarini har tomonlama tahlil qilish va qiyosiy taqqoslash amalga oshirildi. Ularning strukturaviy xususiyatlarining o'xshashligiga qaramay, qoplamalarni sirt bir xilligida sezilarli darajada farq qilishi aniqlandi