SILICID-SILITSID BI-QATATLI TIZIMINING O‘TISH QAT’ATINING KENGLIGINI O‘RGANISH

tarmoqli bo‘shlig‘i, nano qatlam, ion implantatsiyasi, morfologiya, tavlanish, energiya tasmasi parametrlari, yupqa plyonkalar, valentlik zonasi shifti.

Mualliflar

Maqolada Si, ВаSi2 yupqa plyonkalarining energiya diapazonlarining parametrlari va o‘tish qatlamining kengligi keltirilgan. Tarmoq oralig‘ining qiymatlari - Eg va valentlik zonasining yuqori qismining holati - EV UVES usuli bilan aniqlandi. OES, UVES, SEM va rentgen difraksion tahlil usullaridan foydalanib, isitish bilan birgalikda Ba+ ionlarini Si ga implantatsiya qilish natijasida olingan BaSi2/Si/BaSi2/Si (111) nanofilm tizimining tarkibi, sirt morfologiyasi va elektron tuzilishi oʻrganildi. Energiya diapazonlarining parametrlari aniqlandi va Si/BaSi2/Si tizimining energiya diagrammasi tuzildi. BaSi2 qatlamining hosil bo‘lish chuqurligi va qalinligi 0,5 keV dan 30 keV gacha bo‘lgan Ba+ ionlarining turli energiyalari uchun aniqlangan.

##plugins.generic.recommendByAuthor.heading##