ПОЛУЧЕНИЕ И ИЗУЧЕНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСВ НАНОРАЗМЕРНЫХ ФАЗ СоSi2 В ПРИПОВЕРХНОСТНОЙ ОБЛАСТИ КРЕМНИЯ
Загрузки
Методами измерения интенсивности проходящего через исследуемые образцы света различной частоты и
ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии определенa ширина запрещенной зоны Eg нанокристаллических
фаз СоSi 2 , созданных на поверхности и в приповерхностной области Si методом ионной имплантации в сочетании с
отжигом. Наноразмерные фазы CoSi 2 на поверхности кремния получены имплантацией ионов Co с энергией Е 0 = 1
кэВ; а в приповерхностной области (на глубине 15–16 нм) – имплантацией ионов с Е 0 = 15 кэВ. Постимплантационный
отжиг в основном осуществлялся температурным прогревом. Показано, что нанокристаллические фазы CoSi 2 как на
поверхности, так и в приповерхностном слое кристаллизуются в кубическую решетку. Установлено, что Eg
нанокристаллических фаз силицидов кобальта в зависимости от их размеров может изменяться в пределах 0.6–0,9 эВ.
1. Colinge J.P. // Material Research Society Proceedings. 1985. V. 35. P. 653. http://dx.doi.org/doi 10.1557/ PROC-35-653.
2. Rudakov V.I., Denisenko Y.I., Naumov V.V., Simakin S.G. // Russian Microelectronics. V. 40. Issue 6. P. 389. doi
10.1134/S1063739711060102.
3. Алтухов А.А., Жирнов В.В. Анализ морфологии и стехиометрии пленок CoSi/Si(100), полученных методами
ТФЭ и РЭ // Материалы II-го Всесоюзного межотраслевого совещания “Тонкие пленки в электронике”: Москва-
Ижевск. 1991. С. 15.
4. Гомоюнова М.В., Пронин И.И., Галль Н.Р., Молоцов С.Л., Вялых Д.В. // ФТТ. 2003. Т.45. Вып. 8. С. 1519.
5. Умирзаков Б.Е., Ташмухамедова Д.А., Курбанов Х.Х. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед.
2011. № 7. С. 91.
6. Болтаев Х.Х., Ташмухамедова Д.А., Умирзаков Б.Е. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2014.
№ 4. С. 24.
7. Муродкобилов Д.М., Ташмухамедова Д.А., Умирзаков Б.Е. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон.
исслед. 2013. № 10. С. 58.
8. Сердобинцев А.А., Веселов А.Г., Кирясова О.А. // ФТП. 2008. Т. 42. Вып. 4. С. 496.
9. Умирзаков Б.Е., Ташмухамедова Д.А., Мурадкабилов Д.М., Данаев С.Б. // ДАН РУз. 2011. № 4. С. 22.
10. Михайлов А.Н., Гусейнов Д.В., Белов А.И. и др. Ионно-лучевая инженерия наноматериалов на основе кремния
// Труды XXI межд. конф. ВИП-2013. Т. 2. С. 31.
Copyright (c) 2026 «ВЕСТНИК НУУз»
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция — Некоммерческое использование — На тех же условиях») 4.0 Всемирная.
.jpg)
2.png)
