KREMNIYNING YUZA USTIDAGI NANOO‘LCHAMLI СоSi 2 FAZASINI FIZIKAVIY XUSUSIYATLARINI OLISHI VA O‘RGANISH
##submission.downloads##
Turli chastotalar va ultrabinafsha fotoelektron spektroskopiyaning o‘rganilgan namunalari orqali o‘tadigan yorug‘lik
intensivligini o‘lchash yo‘li bilan tavlanish bilan birgalikda ion implantatsiyasi orqali Si yuzasida va sirtga yaqin mintaqada
yaratilgan nanokristalli CoSi 2 fazalarining tarmoqli oralig‘i aniqlandi. Silikon yuzasida nano o‘lchamli CoSi 2 fazalari energiya
E 0 = 1 keV bo‘lgan Co ionlarini implantatsiya qilish orqali olingan; va yer yuzasiga yaqin mintaqada (15-16 nm chuqurlikda)
E 0 = 15 keV bo‘lgan ionlarni implantatsiya qilish orqali. Implantatsiyadan keyingi tavlanish asosan termal isitish orqali amalga
oshirildi. Nanokristalli CoSi 2 fazalari sirtda ham, yer osti qatlamida ham kubik panjaraga kristallanishi ko‘rsatilgan.
Aniqlanishicha, kobalt silisidlarining nanokristal fazalari, ularning kattaligiga qarab, 0,6-0,9 eV oralig‘ida o‘zgarishi mumkin.
1. Colinge J.P. // Material Research Society Proceedings. 1985. V. 35. P. 653. http://dx.doi.org/doi 10.1557/ PROC-35-653.
2. Rudakov V.I., Denisenko Y.I., Naumov V.V., Simakin S.G. // Russian Microelectronics. V. 40. Issue 6. P. 389. doi
10.1134/S1063739711060102.
3. Алтухов А.А., Жирнов В.В. Анализ морфологии и стехиометрии пленок CoSi/Si(100), полученных методами
ТФЭ и РЭ // Материалы II-го Всесоюзного межотраслевого совещания “Тонкие пленки в электронике”: Москва-
Ижевск. 1991. С. 15.
4. Гомоюнова М.В., Пронин И.И., Галль Н.Р., Молоцов С.Л., Вялых Д.В. // ФТТ. 2003. Т.45. Вып. 8. С. 1519.
5. Умирзаков Б.Е., Ташмухамедова Д.А., Курбанов Х.Х. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед.
2011. № 7. С. 91.
6. Болтаев Х.Х., Ташмухамедова Д.А., Умирзаков Б.Е. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2014.
№ 4. С. 24.
7. Муродкобилов Д.М., Ташмухамедова Д.А., Умирзаков Б.Е. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон.
исслед. 2013. № 10. С. 58.
8. Сердобинцев А.А., Веселов А.Г., Кирясова О.А. // ФТП. 2008. Т. 42. Вып. 4. С. 496.
9. Умирзаков Б.Е., Ташмухамедова Д.А., Мурадкабилов Д.М., Данаев С.Б. // ДАН РУз. 2011. № 4. С. 22.
10. Михайлов А.Н., Гусейнов Д.В., Белов А.И. и др. Ионно-лучевая инженерия наноматериалов на основе кремния
// Труды XXI межд. конф. ВИП-2013. Т. 2. С. 31.
Mulkiiyat (c) 2026 «O‘zMU XABARLARI»
Ushbu ish quyidagi litsenziya asosida ruxsatlangan Kreativ Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International litsenziyasi asosida bu ish ruxsatlangan..
.jpg)
.png)
