Tabiiy fanlar

SA2 YUZASIDA AIIIBV PLENKA SHAKLLANTIRISH UCHUN YUPQA MOSLASHUVCHAN QATLAM OLISH

Moslashtiruvchi o‘tish qatlami, chegaraviy qatlam, YADYA tuzilmasi, chuqurlik bo‘yicha taqsimoti, atomlar konsentratsiyasi, atomlarning o‘zaro diffuziyasi.

Mualliflar

Kichik energiyali ionlar implantatsiyasi usuli bilan GaAs/CaF 2 va GaR/CaF 2 tizimining chegarasida moslashtiruvchi o‘tish
qatlamlari hosil qilingan. Eng optimal o‘tish qatlami Sr+ ionlarini implantatsiya qilib keyin T=900 K qizdirishda hosil bo‘lishi
aniqlangan. Oje – elektroskopiya usulini yuzalarni Ar+ ionlari bilan yemirish bilan birgalikda qo‘llab Sr atomlarining chuqurlik
bo‘yicha taqsimoti o‘rganilgan.

##plugins.generic.recommendByAuthor.heading##